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保定市-建设4-6英寸碳化硅衬底高精密加工能力优化项目

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项目概况 【加入收藏】
编号 339728 发布时间 【2022年05月23日】
进展阶段 工程设计 投资总额 6320(万元)
建设性质 新建 建设周期 2022-05至2023-12
所属行业 机械电子河北项目网 设备来源
资金来源:(万元)  资金全部由企业自筹。河北项目网 
主要设备
建设内容/主要产品 拟购置贴片机、刷片机、去蜡清洗机、自动清洗机、平整度分析仪、铸锭炉、晶片晶格畸变(应力)检测仪、表面缺陷分析仪、X射线晶体定向仪、显微镜、研磨机、CMP抛光机、双抛、DMP抛光机、AFM原子力显微镜、多线切割机、平面磨床、外圆磨床等加工设备71台(套),搭建配套纯水站1座,进行4-6英寸SiC单晶衬底加工线的升级改造,并进一步提升衬底加工工艺。河北项目网
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